200mm SiCウエハー対応 SiCエピタキシャル膜成長装置「ＰＥ-1 8 （イチマルハチ）」 2020年12 ...

ＬＰＥはヨーロッパではじめてエピ装置を開発したパイオニアであり、パワー半導体向けエピ成膜装置において、世界で唯一の専業メーカー関連キーワードはありません